请
登录
后使用快捷导航
没有帐号?
立即注册
设为首页
|
收藏本站
|
切换风格
快捷导航
首页
论坛
BBS
头条
都市圈
美国
欧洲
分类信息
更多
搜索
本版
用户
发帖
登录
注册
每日签到
网站工具箱
帮助中心
西兔生活网
›
华人生活
›
都市圈
›
ASML新光刻机,太贵了
回复
发帖
1
2
3
/ 3 页
下一页
返回列表
[科技]
ASML新光刻机,太贵了
[复制链接]
剑气黄河
当前离线
中级会员
积分
兔币
帖子
中级会员, 积分 445, 距离下一级还需 55 积分
445
244
201
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-29
窥视卡
雷达卡
87384
20
剑气黄河
发表于 2024-5-15 15:15:46
|
只看该作者
据
荷兰
公司最大客户之一台积电称,ASML新型先进
芯片
机器的价格令人望而生畏。
“成本非常高,”台积电高级副总裁Kevin Zhang周二在阿姆斯特丹举行的一个技术研讨会上谈到 ASML 最新的High NA 极紫外系统时说道。“我喜欢High NA EUV 的功能,但我不喜欢它的标价。”(I like the high-NA EUV’s capability, but I don’t like the sticker price.)
ASML 的新机器可以用厚度仅为 8 纳米的线压印
半导体
,比上一代机器小 1.7 倍。每台机器的成本为 3.5 亿欧元(3.8 亿美元),重量相当于两架空客 A320 飞机。ASML 是唯一一家生产制造最复杂半导体所需设备的公司,对其产品的需求是该行业健康状况的风向标。
英特尔公司已经订购了最新的高数值孔径 EUV 机器,并于 12 月底将第一台机器运送到俄勒冈州的一家工厂。但目前尚不清楚台积电何时开始购买设备。
Kevin表示,台积电所谓的 A16 节点技术将于 2026 年末推出,无需使用 ASML 的高数值孔径 EUV 机器,可以继续依赖台积电较旧的极紫外设备。“我认为目前我们现有的 EUV 能力应该能够支持这一点,”他表示。他进一步说,使用新的 ASML 技术将取决于它在哪里最具有经济意义以及“我们可以实现的技术平衡”。他拒绝评论该公司何时开始从 ASML 订购高数值孔径机器。
Zhang接着说,工厂的运营成本,包括建筑、工具、电力和原材料等成本“不断上升”。“这对整个行业来说是一个集体挑战,”他说。
01 英特尔,买下了早期所有产能?
在台积电还在犹豫的时候,英特尔已经买下了High NA EUV的所有供应。
根据韩媒TheElec报道,截至明年上半年,英特尔已获得 ASML 生产的大部分高数值孔径极紫外 (EUV) 设备,
消息人士称,这家荷兰晶圆厂设备制造商今年将生产五套该套件,这些套件将全部供应给这家
美国
芯片制造商。他们表示,由于 ASML 高数值孔径 EUV 设备的产能约为每年 5 至 6 台,这意味着英特尔将获得所有初始产能。英特尔正在俄勒冈州工厂启动并运行第一台高数值孔径机器,但预计要到 2025 年才能全面投入运行。
为了赢得客户,英特尔比竞争对手更快地采用高数值孔径 EUV。该公司于 2021 年重新进入代工市场,但去年该业务亏损 70 亿美元。在最近,他们更是将公司的晶圆代工业务负责人更换为经验丰富的Kevin O'Buckley。
资料显示,O'Buckley 加入英特尔时拥有超过 25 年的半导体行业经验。在此之前,他担任 Marvell Technologies 定制、计算和存储事业部硬件工程高级副总裁。更早之前,他担任Global Foundries 的产品开发副总裁,然后随着Marvell在2019 年收购 Avera Semiconductor ,他加入 Marvell,并担任业务负责人。在更早之前,他在 IBM 领先的技术开发和制造组织工作了 17 年多。O'Buckley 拥有阿尔弗雷德大学电气工程理学学士学位和佛蒙特大学电气工程理学硕士学位。
关于High NA EUV的应用,英特尔院士兼英特尔代工逻辑技术开发光刻、硬件和解决方案总监表示:“随着高数值孔径 EUV 的加入,英特尔将拥有业界最全面的光刻工具箱,使该公司能够在本十年后半段推动超越英特尔 18A 的未来工艺能力。”
Mark Phillips同时指出,对于具有最小特征的芯片层,高数值孔径 EUV 光刻比低数值孔径 EUV 双图案化更具成本效益。“如果你将它用于设计目的,并且你有足够的信心相信它会按计划计划你的流程以利用它们,那么是的,High NA肯定是成本有效,”Mark Phillips说。
为此英特尔认为,高数值孔径 EUV 工具将在先进芯片开发和下一代处理器的生产中发挥关键作用。英特尔代工厂是业界高数值孔径 EUV 的先行者,将能够在芯片制造方面提供前所未有的精度和可扩展性,使该公司能够开发具有最具创新性的特性和功能的芯片,这对于推动
人工智能
的进步至关重要和其他新兴技术。
02
韩国
厂商的跃跃欲试
在英特尔激进,台积电保守的同时,韩国的三星和SK海力士则相对犹豫。TheElec的报道指出,英特尔的竞争对手三星和 SK 海力士预计将在明年下半年的某个时候获得该套件。
但三星参与内存生产的研究员 Young Seog Kang 在三月底于加利福尼亚州圣何塞举行的 SPIE 高级光刻+图案化会议上表示,low NA EUV已经投入使用,芯片制造商可能更愿意使用low NA EUV 的双图案化或采用先进的封装技术作为更经济的替代方案,而不是使用高数值孔径的 EUV。
对于内存,他预测 EUV 的使用寿命总体上会较短,并指出在尝试扩展该技术时在性能和成本方面存在潜在挑战。不过,他承认,由于逻辑芯片的布局更加复杂,EUV 可能会在更长时间内保持相关性。
“作为用户,我总是关心总成本.”Kang说。
值得一提的是,在二月的时候,据韩媒报道,三星电子与ASML共同在韩国投资的半导体先进制程研发中心预计自2027年起引进High-NA 极紫外光(EUV)设备。据悉,该研发中心是为High-NA EUV而兴建,总投资金额1兆韩元(约7.6亿美元),最快于2027年引进设备,因需经过许可流程,最快将于2024年12月或2025年动工。
按照三星当时的说法,目前High-NA EUV仍处于审查推出时机的阶段,将根据市场状况及客户需求决定方向。三星与ASML的合作,比起快速引进High-NA EUV,更重要的是ASML和三星的工程师一同进行研发,使三星能够更完善地使用High-NA EUV。
至于SK海力士方面,去年八月,韩媒dd
AI
ly报道说,SK海力士计划从明年(也就是2024年)开始采用“高数值孔径”工艺生产DRAM原型。
报道指出,继1a DRAM之后,SK海力士还将EUV引入10纳米级第五代(1b)DRAM。每层仅使用 EUV 工艺。此前,SK海力士宣布将从10纳米级第六代(1c)DRAM开始增加EUV应用层数量。Hi-NA预计将从下一个项目开始参与。
此外,SK海力士目前正在考虑将这两种技术与high NA混合的计划,就像并行ArF和EUV一样。目前的趋势是提高EUV或高NA的渗透率,其中ArF占据压倒性份额。
SK海力士解释说,“我们无法透露未来的产品,但我们将把EUV和High NA的应用扩展到DRAM。”
03 EUV,何去何从?
对于High NA EUV,分析机构Semianalysis最早给出了悲观预测。
在文章中,Semianalysis的分析师对高数值孔径工具的成本效益提出了质疑。“我们的光刻模型表明,尽管降低了复杂性,但对于即将到来的技术节点(包括 1.4nm/14A),High NA EUV 单次图案化成本明显高于使用现有low NA 机器进行的双重图案化。此外,多重图案化低数值孔径 EUV 能够比高数值孔径更精细的间距特征。”Semianalysis 写道。
报道表示,不利的成本比较主要是剂量需求(dose requirements)呈指数增长的结果。打印较小的特征需要更高剂量的光——更多的光子——以防止统计变化导致投影图像扭曲。Semianalysis 声称,尽管 ASML 随着时间的推移一直在增加源功率,但它并没有跟上增加的剂量要求。这意味着随着打印更精细的细节,曝光时间需要增加,从而减慢光刻过程并增加成本。
同时,不受剂量要求的限制,0.33-NA 扫描仪继续以最大吞吐量运行。“低数值孔径双重图案化的吞吐量优势非常强大,尽管需要两倍的晶圆通过扫描仪,但光刻成本却低于高数值孔径单次曝光。我们的模型表明,从当前领先的 3nm 工艺节点到 1nm 同等工艺节点,这一点都是正确的。”Semianalysis 表示。
不过,ASML 驳回了所有有关高数值孔径不具有竞争力的说法。“毫无疑问,从经济角度来看,高数值孔径是正确的选择。前一段时间这曾经是一个问题,但我认为我们目前看到的一切都表明,高数值孔径显然是逻辑和内存方面最具成本效益的解决方案,”ASML前首席执行官 Peter Wennink在 1 月份表示。公司首席财务官罗杰·达森 (Roger Dassen) 指出,迄今为止(一月中旬)已有十多种高数值孔径工具获得了良好的订单量,他补充道,“很明显,有一些客户渴望尽快使用它。”
在2024 年 SPIE 高级光刻 + 图案化会议上,光刻胶供应商JSR USA总裁马克·斯莱扎克(Mark Slezak)则对EUV未来持乐观态度。“我认为我们有一条 20 年的跑道,”他说。
然而,小组中的其他人并不认为 EUV 的寿命会如此长。如上所说,参与该存储芯片制造商光刻技术的三星研究员Young Seog Kang预测, EUV 的使用寿命将很短,因为所提出的扩展该技术的方法将遇到性能和成本问题。
小组中的其他人则介于这两个极端之间。英特尔掩模业务副总裁兼总经理 Frank Abboud 指出,相移掩模(phase shift masks )在 DUV 中被证明非常有益,有助于延长该技术的寿命和性能。这种掩模利用相位差产生的干扰来提高图像分辨率。目前尚未生产出用于 EUV 光刻的相移掩模,但它们可能会生产出来。
“到目前为止,这似乎是可行的,”Abboud 说。
光刻工具制造商 ASML 的系统工程总监 Jan van Shoot 指出,有几个旋钮可以提高分辨率并扩展 EUV 的实用性。一是数值孔径,分辨率随着数值孔径的增加而增加。另一个称为 k 1,该系数取决于与芯片制造相关的许多因素。
提高 EUV NA 的工作已经在进行中,目前该数值为 0.33。第一个High NA 工具的 NA 为 0.55,现已就位。但在解决 k 1问题上几乎没有采取任何措施。van Shoot 表示,ASML 正在开发一种新的照明器,并采取其他措施来提高 k 1 。
“我们没有所有的解决方案,但我们有一些有前途的想法,”他说。
EUV 目前的照明技术与使用准分子激光器的 DUV 的照明技术有很大不同。由此产生的光束在空间和光谱上具有紧密的轮廓。Fraunhofer IISB 计算光刻和光学组经理 Andreas Erdmann 在谈到对 EUV 照明技术的期望改进时表示:“带宽较小会很有用。”
最后,EUV 的长期前景可能由技术本身之外的因素决定。IMEC主要技术人员Emily Gallagher指出,未来EUV可能会遇到各种资源限制和环境障碍。例如,含氟气体可能是温室气体排放的重要贡献者,其中一些气体的影响是二氧化碳的数万倍。该行业正在努力消除氟,但这样做可能需要使用替代品重新验证工艺,这需要一些时间。
因此,该行业可能必须找到减少氟排放的方法,要么通过焚烧或其他方式破坏气体,要么通过捕获它。这种减排变得越来越容易,部分原因是芯片制造商并不是唯一需要使用氟化气体但又不让它逸散到环境中的企业。
“越来越多的解决方案正在开发中,”Gallagher谈到减排时说道。然后她补充道:“将目光投向半导体行业之外是有优势的。”
上一篇:
本周五首发!超长期特别国债六问六答
下一篇:
央行出手!7家单位被罚
@免
责
声
明
1.西兔生活网 CTLIVES 内容全部来自网络;
2.版权归原网站或原作者所有;
3.内容与本站立场无关;
4.若涉及侵权或有疑义,请点击“举报”按钮,其他联系方式或无法及时处理。
举报
0人
收藏
0人
支持
0人
反对
0人
淘帖
回复
使用道具
举报
提升卡
置顶卡
沉默卡
喧嚣卡
变色卡
千斤顶
照妖镜
精彩评论
20
正序浏览
电梯直达
倒序浏览
正序浏览
天远地高
当前离线
中级会员
积分
兔币
帖子
中级会员, 积分 429, 距离下一级还需 71 积分
429
238
191
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-29
窥视卡
雷达卡
沙发
天远地高
发表于 2024-5-15 15:47:17
|
只看该作者
光刻机是半导体制造过程中价值量和技术壁垒最高的设备之一,全球光刻机市场规模超230亿美元,ASML处于绝对领先,一台机器的成本3.8亿美元,只能说物以稀为贵了[哭笑]
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
万事享通
当前离线
中级会员
积分
兔币
帖子
中级会员, 积分 493, 距离下一级还需 7 积分
493
272
221
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-28
窥视卡
雷达卡
板凳
万事享通
发表于 2024-5-15 15:53:38
|
只看该作者
之前看说ASML今年第一财季营收和净利润环比均出现大幅下滑
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
李昂纳东
当前离线
中级会员
积分
兔币
帖子
中级会员, 积分 410, 距离下一级还需 90 积分
410
266
218
在线时间:0 小时
最后登录:2024-9-1
窥视卡
雷达卡
地板
李昂纳东
发表于 2024-5-15 15:56:03
|
只看该作者
还有没有人讲、完全自主研发。弯道超车的、是不是就追赶人家、人家就不进步了,这东西只能越拉就越远
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
李丹妮
当前离线
高级会员
积分
兔币
帖子
高级会员, 积分 530, 距离下一级还需 470 积分
530
289
241
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-23
窥视卡
雷达卡
5
#
李丹妮
发表于 2024-5-15 15:58:00
|
只看该作者
高数值孔径EUV设备的数值孔径从0.33提高到0.55,设备可以绘制更精细的电路图案了。
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
不悔居士
当前离线
中级会员
积分
兔币
帖子
中级会员, 积分 491, 距离下一级还需 9 积分
491
273
218
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-31
窥视卡
雷达卡
6
#
不悔居士
发表于 2024-5-15 17:28:29
|
只看该作者
缺乏中国市场的需求份额,不止ASML公司营业收入会受到严重打击,连INTEL, AMD 和 NVDIA 的营业收入也会非常疲弱不堪。3-5年之后,这种状况将是一把致命的回旋镖,深深插入美国科技企业的心脏,不止毁坏美国的技术创业发展,甚至可能会导致现在的技术大厂轰然倒塌。
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
胡旺水
当前离线
高级会员
积分
兔币
帖子
高级会员, 积分 599, 距离下一级还需 401 积分
599
338
261
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-23
窥视卡
雷达卡
7
#
胡旺水
发表于 2024-5-15 17:44:19
|
只看该作者
没事,我们会弯道翻车,[哈哈],说错了,重来,我们弯道翻车[哭笑]
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
呼伦贝尔人
当前离线
高级会员
积分
兔币
帖子
高级会员, 积分 511, 距离下一级还需 489 积分
511
285
226
在线时间:0 小时
最后登录:2024-9-1
窥视卡
雷达卡
8
#
呼伦贝尔人
发表于 2024-5-15 17:56:54
|
只看该作者
自己生产不出来也只能让他们敲竹杠
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
汪叔
当前离线
高级会员
积分
兔币
帖子
高级会员, 积分 529, 距离下一级还需 471 积分
529
294
235
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-29
窥视卡
雷达卡
9
#
汪叔
发表于 2024-5-15 18:14:01
|
只看该作者
有生之年,希望能看到中国也能造出来与ASM同值的玩意儿
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
民主
当前离线
高级会员
积分
兔币
帖子
高级会员, 积分 571, 距离下一级还需 429 积分
571
316
255
在线时间:0 小时
最后登录:2024-8-28
窥视卡
雷达卡
10
#
民主
发表于 2024-5-15 18:32:05
|
只看该作者
科技创造生产力,全球独家生产你说贵不贵,卡脖子也没办法,只有技术掌握在自己手里才硬气,静下心来好好努力吧。
回复
支持
反对
使用道具
举报
照妖镜
1
2
3
/ 3 页
下一页
返回列表
高级模式
B
Color
Image
Link
Quote
Code
Smilies
您需要登录后才可以回帖
登录
|
立即注册
本版积分规则
发表回复
回帖并转播
回帖后跳转到最后一页
剑气黄河
中级会员
0
关注
2
粉丝
43
帖子
发送私信
收听TA
Ta的主页
热门图文
娃哈哈集团高层更迭,宗馥莉正式成为新掌门
现役最悲催巨星?巅峰赛季场均36+7,三次转
国产新势力卷王爆发!零跑8月交付30305台
理想L6成最大功臣!理想8月交付48122辆 蝉
多旗舰齐聚9月!iPhone 16太拉胯,安卓手机
高通总裁喊话“希望华为不要全面抛弃高通芯
热门帖子
都市圈
《庆余年3》未拍先“危”,3位主演被曝将退
都市圈
中方不再惯着菲方,055大驱开到仙宾礁,40
都市圈
拼多多,没有未来
都市圈
22城试点房屋养老金制度,对房价影响如何?
都市圈
官方辟谣、解读!房屋养老金制度不增加业主
都市圈
房屋也要交“养老金”?住建部官媒强调:公
教育育儿
家长向儿童手表提问“中国人诚实吗”得到不
都市圈
解放军军机首次进入日“领空”?根据波茨坦
都市圈
知名汽车公司CEO哭了!年初每月只卖一两百
都市圈
新能源车年检新规出台,将影响超两千万辆新
排行榜
日
周
月
1
黄潇、井胧化险为夷,王一哲、熊梓淇被淘汰
文|吴清浅 综艺《披荆斩棘第四季》二公落下帷幕,一公个人喜爱度在弟弟阵营中分别位
99901
0
2
沙利文结束访华不到48小时,美方放出消息,
沙利文已结束其访华行程返回美国,在华期间他受到了中方最高规格的接待,同中方商议了
99338
8
3
vivo不讲武德?4nm旗舰芯+16GB+512GB,上市
为什么国产手机厂商都喜欢做高端机产品?其实,主要是因为高端机定位的产品利润丰厚。
98971
0
4
《下一战歌手》开麦,那英复盘《歌手》夺冠
上个月末在《歌手2024》总决赛上,那英成功摘得“歌王”桂冠,时隔一个月,她又马不停
98459
13
5
完成三年整改,阿里悄悄握手腾讯
历经三年整改后,阿里悄悄向老对手腾讯递上一根橄榄枝。 8月30日,国家市场监督管理
98131
1
6
视频 | 东南亚明明毗邻中国,在古代为何却
观看预计11分钟 作者 | 河畔的伯爵 图源:网络 “东南亚不是外印度,也不是小中
97349
0
7
OpenAI大逃亡,AGI安全团队半数出走!奥特
新智元报道 【新智元导读】尽管不断招兵买马,依旧挡不住OpenAI的安全
96771
0
8
南美腹地冒出大量浓烟,欧美卫星紧急对准!
虽然已经过了处暑节气,但位于北半球的我国多地,近期火辣辣的夏日氛围还在继续。比如
96435
2
9
美媒给现役中锋分档:申京四档,戈贝尔三档
随着小球时代的推进,现在中锋们也是逐渐适应了联盟的节奏,当初小球时代刚盛行的时候
96098
0
10
2024美网:郑钦文、王雅繁携手晋级商竣程遭
当地时间8月30日,2024美网结束正赛第五日争夺,三位中国球员亮相大看台球场取得2胜1
95971
0
1
40分+33分+34分!愈战愈勇,超级状元创纪录
回顾23-24赛季,我们发现NBA新老交替的局面越发严重,比如湖人、太阳和快船三支球队,
99935
2
2
三战三捷!中国军团三人晋级美网32强
今天凌晨美网单打第二轮,出战的中国军团大获全胜!郑钦文、王雅繁、商竣程全部晋级32
99916
7
3
大疆新款Neo无人机仅重135克 配备1/2英寸传
【太平洋科技快讯】近日,大疆 Neo 新款在意大利一位博主的视频中意外曝光。这款无人
99913
0
4
黄潇、井胧化险为夷,王一哲、熊梓淇被淘汰
文|吴清浅 综艺《披荆斩棘第四季》二公落下帷幕,一公个人喜爱度在弟弟阵营中分别位
99901
0
5
李连杰确定出演《镖人》,吴京有望成为中国
当听说了吴京即将拍摄武侠电影《镖人》的时候,国内不少观众都不是很看好。 首先该片
99887
1
6
哈里斯采访大翻车,民主党“梦幻组合”梦碎
8月30日,外媒揭示了美国副总统卡玛拉·哈里斯作为总统候选人的一次尴尬采访,预示
99837
13
7
同样写“装逼打脸”,金庸为什么不一样?
文/六神磊磊 今天来一起品读一段金庸小说。 选一个很普通的小段落,就以《射雕英雄
99831
8
8
大跳水! 一夜之间拼多多跌近29%, 发生了什
编辑 | 七三美股涨跌不一 周一,美股三大指数涨跌不一。 截至收盘,道指涨65.44
99812
1
9
遥遥领先!世界首款三折叠屏手机正式公布!
在科技界的万众瞩目下,传音科技于今日盛大展示了其最新力作——Te
99785
5
10
入住半年后,我发现最有远见就是阳台装了它
阳台是家里跟户外接触的唯一空间,它既要照顾衣服的晾晒,也要承载绿植的摆放,还要兼
99779
0
1
悟空出世爆火,深圳老板入账15个亿
撰文|曾佳琪 编辑|陈晓平 一夜之间,单机游戏《黑神话:悟空》爆火。 8月20日,国
100072
20
2
山水星河,浪漫流连!总台喊你过七夕啦
七夕将至,中央广播电视总台2024年七夕特别节目《如七而遇 漫歌今夕》近日在湖北郧西
100071
0
3
这种正在收割小学生的新项目,一张卡就能卖
抽卡手游自从诞生以来,一直让游戏爱好者和二次元群体又爱又恨,“十连抽出心头好”的
100022
14
4
大S恋爱脑上头,消费汪小菲给具俊晔赚流量
大S曾说,与前任分手就要断得干干净净,这一句话在仔仔与蓝正龙身上得到应验,但是在
99990
15
5
新机:Mate70全系列亮相;红米K80 Pro长这
[*]Mate 70 系列后盖曝光 华为 Mate 70 系列将于今年晚些时候亮相,而最新的泄露
99988
0
6
“ 到公司第一件事就是…”小米王腾晒游戏
8月20日上午10点,国产第一款3A游戏《黑神话:悟空》正式解锁上线。这款立项于2018年2
99985
0
7
iOS18新测试版推送达1.2GB ,新功能不多,
苹果iOS18新系统推出后已经向iPhone手机推送了多个测试版升级更新,现在iOS18新开发者
99977
0
8
新能源车渗透率已达到51%:油车市场,接下
文/王新喜 在过去的7月,是中国新能源乘用车销量首超燃油车!这是历史性时刻。 根据全
99974
0
9
与操盘手深聊4小时,我们找到2024下半年经
作者|李静林 「价格力」指挥棒落下,支配抖音电商大半年的优先级经营目标再次发生变化
99969
0
10
一碗面,一把小葱,教你做香酥葱油饼,咬一
在这个快节奏的生活中,偶尔停下脚步,用一碗普通的面粉和一把翠绿的小葱,就能编织出
99967
0
活跃网友
1
财神驾到
主题数:1833,精华帖:0
2
一抹伤
主题数:1257,精华帖:0
3
哇哇的哭
主题数:1023,精华帖:0
4
绿林道的
主题数:610,精华帖:0
5
willlin
主题数:452,精华帖:0
返回顶部
快速回复
上一主题
下一主题
返回列表
APP下载
手机访问
扫一扫用手机访问
快速回复
返回顶部
返回列表